光學微電子凈化工程又稱清凈室或無塵室，目前已是精密制造、半導體、光學制造、液晶制造、線路板制造和醫(yī)藥、生物化學、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設施。光電車間凈化工程是指不同級別電子廠凈化車間或電子實驗室的半導體、微電子、光電技術、光學儀器、PCB、食品、模具等工程。

近幾年來，因技術的創(chuàng)新發(fā)展，對于產品的高精密度化、細小型化的需求越發(fā)迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項目。按行業(yè)標準要求，凈化級別從?10-30?萬級。凈化的程度也直接影響了電子產品制作的質量。

一、光學微電子凈化工程一般包括哪些功能分區(qū)：

1.潔凈生產區(qū)

2.管理區(qū)（包括辦公、值班、管理和休息等）

3.潔凈輔助間（包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等）

二、電子潔凈實驗室凈化標準參數：

根據電子潔凈室（區(qū)）空氣潔凈級別，不同等級凈化標準如下：

① 百級電子潔凈室塵粒（≥0.5μm）最大允許數為3500每立方米、≥0.5μm塵粒數為0、微生物最大允許數浮游菌為5每立方米、沉降菌為1。

② 千級電子潔凈室塵粒（≥0.5μm）最大允許數為350000每立方米、≥0.5μm塵粒數為2000、微生物最大允許數浮游菌為100每立方米、沉降菌為3。

③ 十萬級電子潔凈室塵粒（≥0.5μm）最大允許數為3500000每立方米、≥0.5μm塵粒數為20000、微生物最大允許數浮游菌為500每立方米、沉降菌為10。

④ 三十萬級電子潔凈室塵粒（≥0.5μm）最大允許數為10500000每立方米、≥0.5μm塵粒數為60000、微生物最大允許數浮游菌為1000每立方米、沉降菌為15。

三、光學微電子凈化工程換氣參數

1. 換氣次數：十萬級凈化≥15次；萬級凈化≥20次；千級凈化≥30次

2. 平均風速：10級、100級為0.3-0.5m/s

3. 噪聲：≤65dB(A)

4. 新風補充量：新風補充量是總風量的10%-30%

5. 照度：300LX

6. 壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa

7. 溫度：冬季＞16℃；夏季＜26℃；允許波動范圍為±2℃

7. 濕度：GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜，電子車間濕度略高以免產生靜電。

四、電子潔凈車間實驗室通用結構材料：

1. 送回風管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫有良好效果的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。

2. 高效送風口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。

3. 地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。

4. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強。圓弧墻 角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。

五、西遞電子廠/電子實驗室凈化空調方案

方案一:目前來說是最傳統(tǒng)的凈化空調設計方案。組合式空氣處理機組里含有各種功能段，如初效過濾段、混合段、表冷段、中效過濾段、二次回風段(或中間段)加濕段、加熱段、風機段等。其中冷源主要由冷水機組提供。

方案二:相較于方案一，方案二是比較簡單的潔凈空調設計方案。不僅可以大大地縮小機房的面積，還可以讓水冷柜機根據具體的情況布置在較小的凈化車間內或機房內,同時還可以將增壓風柜布置于機房內或吊在機房內或在夾層內。

方案三：主要用于對室內溫濕度精度要求不高的無塵車間,用簡易空調方案?？芍苯訉⒎煮w空調柜機布置于車間內，并用彩鋼圍護起來，在柜機回風口處再在彩鋼板上開回風口(帶初效過濾網);風機過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。